R-0029 半导体高纯气体提纯关键技术、核心装备和材料的自主创新研发

技术需求简介：

重点描述企业需要解决的问题及主要技术指标、配套条件：

一、需解决的主要技术问题：

基于自主创新研发生产半导体、光伏光纤、LED面板及化工、医药行业所用的高纯度气体纯化生产设备、关键技术、核心材料，使其提纯纯度达到9N级（国际最高标准版）或者更高，用来替代国外进口气源或者生产装备，填补国内空白。

 二、实现的主要技术目标：

  气体纯度≥9N;生产工艺国产化；主体装备国产化；关键核心吸附材料国产化；装备和材料的使用寿命和次数达到国际先进水平。

联系人：范老师